Power PMAC Compensation Tables

1차원 Error와 2차원 Error의 보정 방법

Power PMAC은 자체적으로 제공하는 Mapping Table을 존재한다. 기존의 명령으로 저장하던 작업을 GUI를 이용하여 작업할 수 있다.

• IDE를 실행시킨다.
• Menu/Delta Tau/Compensation Table을 실행
• 아래와 같은 창이 실행된다.

	Menu	Description
1	CompTable Number	현재 작업할 Table의 Number
2	CompTable Dimension	작업할 모터의 구조 ( 기본값 : 1D : Linear )
3	Source Motor	위치를 보상해 줄 기준 모터 번호
4	Number of Targets	기준 모터의 타겟 모터 수 기준 모터의 이동 거리에 따라 타겟 모터의 보상 값도 같이 적용된다.
5	Target Motor1	기준 모터의 이동 시 위치 보상해야 할 모터의 번호
6	Target Motor Correction Type	교정 타입 설정 (기본값으로 설정한다.)
7	First Data Point	시작점 포인트 위치 값을 입력한다.
8	Total Span	보상할 전체 위치를 입력한다.
9	Number Of Zones	보상한 포인트의 개수를 입력한다. 보상할 포인트가 많아질수록 Table행이 늘어나고 보상 포인트가 늘어난다.

1차원 Error 보정 실시 예

1. Setting을 진행할 Table 번호를 CompTable Number에 입력한다.
2. Source Motor에 보정할 축의 번호를 입력한다.
   ex. Head X축 보정 필요시 Head X축이 1번이면 1을 입력
3. Target 모터 수를 입력해 준다.
   ex. Head X축을 기준으로 위치를 보정해 줄 모터의 수를 입력한다.
        Head X축 ActPos로 Head X만 보정한다면, Number of Targets는 1이다.
4. Target Motor 번호를 입력한다.
   ex. Head X축을 보정하기 위해선 축 번호를 입력한다.
5. First Data Point를 입력한다.
   ex. 보정할 위치 값에 시작 점이다. 기본 0으로 입력한다.
6. Total Span을 입력한다.
   ex. 해당 축 스트로크의 Max 값을 입력한다.
        만약, 스트로크가 2560mm인 축을 1um 단위로 보정하려면 2560000을 입력해야 한다.
7. 보정할 포인트의 수를 입력한다.
   ex. First Data Point가 0이고 Total Span이 2560000축을 1mm씩 보정하려면 2560을 입력하면 1mm 단위 포인트로 보정할 수 있다.
8. Table에 보정하고자 하는 ActPos 값에 보정할 값을 입력한다.
   ex. 1218.20인 위치에 30um을 보정하고자 하면 테이블의 1,218 또는 1,219에 보정 값 30um을 입력해 준다.
9. Download 버튼을 누르면 실시간으로 보정 값을 확인할 수 있다.
10. Compensation Table을 활성화시켜준다.
    Terminal에서 Sys.compenable 설정한다.
    Compensation Table이 2개라면 Sys.compenable=2를 입력해야 테이블 2개가 활성화된다.
    Motor [x]. CompPos를 이용하여 CompPosition이 제대로 적용되는지 확인할 수 있다.

2차원 Error 보정 실시의 예

2차원 Error 보정은 두 축에 관해서 설정을 해야 한다. 각각의 축 테이블에 대해서 X, Y 값을 기입해 주기만 하면 자동으로 보정한다.

1차원 Error 보정과 다른 점은 Source Motor 1, 2로 두 개로 기입해야 한다.

보정 테이블 또한 X, Y 축에 대한 Matrix 구조로 값을 기입해야 한다.